激光位移技術(shù)是常見(jiàn)的激光測(cè)位移方法之一

日期：2025-06-21 01:29

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摘要：

　　激光位移技術(shù)原理分為激光三角測(cè)量法和激光回波分析法，激光三角測(cè)量法一般適用于高精度、短距離的測(cè)量，而激光回波分析法則用于遠(yuǎn)距離測(cè)量。

　　激光位移(三角法)是常見(jiàn)的激光測(cè)位移的方法之一。激光測(cè)位移系統(tǒng)由激光光源和接收器(PSD和CCD)兩部分組成。激光器LD發(fā)出的光經(jīng)透鏡L1匯聚照射在被測(cè)帶鋼表面的點(diǎn)O，其散射光由透鏡L2接收匯聚到線性光電元件(CCD)上的點(diǎn)O'，O與O'點(diǎn)共軛。當(dāng)被測(cè)帶鋼表面相對(duì)激光器LD發(fā)生位移x，而使物光點(diǎn)偏離零點(diǎn)O,像光點(diǎn)X'也將產(chǎn)生位移而偏離光電元件的零點(diǎn)(O')。由幾何關(guān)系可推得x=aX'/(bsinβ十X'cosβ)。實(shí)際應(yīng)用中調(diào)量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)可能略有不同，但測(cè)量原理基本相同。同時(shí)，光束在接收元件的位置通過(guò)模擬和數(shù)字電路處理，并通過(guò)微處理器分析，計(jì)算出相應(yīng)的輸出值，并在用戶設(shè)定的模擬量窗口內(nèi)，按比例輸出標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)信號(hào)。如果使用開(kāi)關(guān)量輸出，則在設(shè)定的窗口內(nèi)導(dǎo)通，窗口之外截止。另外，模擬量與開(kāi)關(guān)量輸出可獨(dú)立設(shè)置檢測(cè)窗口。

　　采取三角測(cè)量法的激光位移傳感器*高線性度可達(dá)1um，分辨率更是可達(dá)到0.1um的水平。比如ZLDS100類型的傳感器，它可以達(dá)到0.01%高分辨率，0.1%高線性度，9.4KHz高響應(yīng)，適應(yīng)惡劣環(huán)境。

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