激光位移(三角法)是*常見的激光測位移的方法之一，20世紀70年代用于熱軋帶鋼板形測量，由于這種板形測量方法簡單，響應(yīng)速度快，在線數(shù)據(jù)處理容易實現(xiàn)，現(xiàn)已廣泛用于板形測量領(lǐng)域。激光測位移系統(tǒng)由激光光源和接收器(PSD和CCD)兩部分組成。激光器LD發(fā)出的光經(jīng)透鏡L1匯聚照射在被測帶鋼表面的點O，其散射光由透鏡L2接收匯聚到線性光電元件(CCD)上的點O'，O與O'點共軛。當(dāng)被測帶鋼表面相對激光器LD發(fā)生位移x，而使物光點偏離零點O,像光點X'也將產(chǎn)生位移而偏離光電元件的零點(O')。由幾何關(guān)系可推得x=aX'/(bsinβ十X'cosβ)。實際應(yīng)用中調(diào)量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)可能略有不同，但測量原理基本相同。同時，光束在接收元件的位置通過模擬和數(shù)字電路處理，并通過微處理器分析，計算出相應(yīng)的輸出值，并在用戶設(shè)定的模擬量窗口內(nèi)，按比例輸出標準數(shù)據(jù)信號。如果使用開關(guān)量輸出，則在設(shè)定的窗口內(nèi)導(dǎo)通，窗口之外截止。另外，模擬量與開關(guān)量輸出可獨立設(shè)置檢測窗口。

      采取三角測量法的激光位移傳感器*高線性度可達1um，分辨率更是可達到0.1um的水平。比如ZLDS100類型的傳感器，它可以達到0.01%高分辨率，0.1%高線性度，9.4KHz高響應(yīng)，適應(yīng)惡劣環(huán)境。